겨울철 발진기(resonator) 유지관리 과정에서 중요한 요소는 리크(leak)가 발생되는지 여부이다. 첫번째로 레이저가스(He, CO2, N2)가 누설(gas leak)이 되는지 그리고 두번째는 냉각수가 누수(water leak)되는지를 정기적으로 체크해야 한다. 돈 들어가는 거 아니므로 현장에서 정기적으로 체크해줘야 큰 돈이 안들어간다.
먼저 레이저온(Laser ON)을 꺼서 레이저가 휴지상태로 있게끔 한다. 그리고...
1. 기계온(Machine ON) 버튼을 눌러 기계파워를 끈다(메인스위치는 안끔).
2. 자동생산버튼 아래에 위치한 셋업 버튼을 누른다.
3. 선택 <Selection> 소프트키를 누른다.
4. 메뉴를 아래쪽으로 스크롤해서 [TruFlow Laser Intervene 1]을 선택한 후 Chiller의 상태가 OFF로 되어 있는지를 체크한다(반드시 OFF로 되어 있어야 한다).
5. 1번 [1. Activate switch elements]를 누른다.
6. 2번 [2. Vacuum pump]을 눌러 베큠펌프를 켠다.
7. 3번 [3. Purge fast]를 눌러 발진기 시스템압력이 30hPa 이하로 떨어질때까지 기다린다.
8. 그런 다음 2번과 3번을 눌러 OFF시키고, 그 순간 시스템 압력(OLD)을 기록하고 5-10분 정도 기다린다.
9. 기다린 시간을 분단위로 기록한 다음, 순간 시스템 압력(NEW)을 기록하여 아래식으로 리크율(leak rate)을 계산한다.
(NEW 압력 - OLD 압력) / 기다린 시간(분) = 리크율
위에서 계산된 누수율이 0.1보다 크게 나오면 가스 리크와 관련된 문제가 있는 것이다. 결과적으로 레이저 출력이 떨어지게 되어 있다.
이제 냉각수 리크율을 계산해야 하기 때문에...
10. 위 순서 중에서 5번부터 9번까지를 다시 반복한 다음....
11. 7번 [7. Cooling Unit]을 눌러 칠러를 켜고 5-10분 정도 기다린 후 분단위 시간을 측정하여 위 계산식으로 다시 누수율을 계산한다.
이와 같이 두번째 계산된 리크율(NEW LEAK RATE)이 첫번째 계산된 리크율(OLD LEAK RATE)보다 큰 경우....
발진기 내부에 냉각수가 새고 있는 것(water leak)이다. 발진기 내부에 water leak가 발생되고 있다는 것은 아주 심각한 문제이다. 바로 즉시 발진기 내부 가스쿨러를 교체해야 하고 발진기 내부 크리닝을 실시해야 한다. 그렇지 않을 경우 발진기 내부의 모든 미러의 손상이 가해지고 레이저출력도 감쇄될 뿐만 아니라 점차적으로 발진기 핵심요소인 터보블로우어도 고장이 나게 될 것이다. 결과적으로 레이저를 살리기 위해서는 엄청난 수리비용이 발생할 수 밖에 없다 ㅠㅠ
제너레이터에서 공급되는 RF 파워의 문제가 없음에도 불구하고 레이저출력이 현저히 떨어질 경우 가장 먼저 Gas leak 또는 Water leak를 의심해봐야 한다. 특히 겨울철 부동액을 넣었다 할지라도 아주 추울경우 발진기 내부 가스쿨러에 남아 있는 냉각수의 동파로 인해 워터리크가 발생할 수 있기 때문에 겨울철 레이저의 유지관리를 잘해 주어야한다.
참고로 귀사에서 사용하고 있는 장비가 현재 캐피탈 리스장비인데 혹시 겨울철 레이저 동파가 발생했을 경우 대부분 보험처리가 되기 때문에 사고가 났을 경우 현장상태를 그대로 보존한 상태에서 캐피탈사의 보험처리 담당에게 접수를 신속하게 해야 한다.... 그리고 제이맥(010-9119-4822)로 연락하면 이와 관련된 기술적 처리를 모두 담당해서 진행해 준다.